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真空壓力計(jì)
真空壓力計(jì),適用于在光伏、半導(dǎo)體及工業(yè)市場中對過程控制至關(guān)重要的精密真空測量。應(yīng)用于:真空爐、真空包裝、等離子體滅菌器、冷凍干燥、真空蒸餾、石化行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、PECVD/ALD工藝設(shè)備、等離子體刻蝕工藝設(shè)備
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真空電容壓力計(jì)
真空電容壓力計(jì)使用高穩(wěn)定電容敏感元件,具備出色的抗過壓能力和優(yōu)異的長期穩(wěn)定性,適用于在光伏、半導(dǎo)體及工業(yè)市場中對過程控制至關(guān)重要的精密真空測量。先進(jìn)制造技術(shù)與工藝,保障了應(yīng)用場景中的可重復(fù)性,本壓力計(jì)工作電壓為24V DC,具有標(biāo)準(zhǔn)的(0~10)V DC模擬輸出信號(hào),全刻度測量,可用范圍為1Torr(133Pa)至10Torr(1.33kPa)。
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